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HMDS氣相成底膜烘箱  真空HMDS氣相烘箱
HMDS氣相成底膜烘箱 真空HMDS氣相烘箱

HMDS氣相成底膜烘箱 真空HMDS氣相烘箱在晶圓上行噴涂hmds預處理的工藝,將晶圓表面親水性的置換為疏水性的,使晶圓表面接觸角達到65或更高。

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HMDS預處理機H-2  智能HMDS真空烘箱
HMDS預處理機H-2 智能HMDS真空烘箱

HMDS預處理機H-2 智能HMDS真空烘箱為半導體應用的光刻膠粘合促進劑工藝設備,

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HDMS烘箱  HDMS真空烘箱  HDMS預處理烘箱
HDMS烘箱 HDMS真空烘箱 HDMS預處理烘箱

HDMS烘箱 HDMS真空烘箱 HDMS預處理烘箱保護裝置:緊急停止,HMDS藥液泄漏報&警提示,HMDS低液位報&警,超溫保護,漏電保護,過熱保護等

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光刻膠HMDS烘箱  HMDS疏水處理烘箱
光刻膠HMDS烘箱 HMDS疏水處理烘箱

光刻膠HMDS烘箱 HMDS疏水處理烘箱應用多晶硅,石英,太陽能電池片、金屬、貴金屬、藍寶石、SiC(碳化硅)、磷化銦、GaN(氮化鎵)、ZnO(氧化鋅)、GaO(氧化鎵)、金剛石等第三代半導體材料。

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HMDS烘箱專用真空泵,HMDS系統無油泵
HMDS烘箱專用真空泵,HMDS系統無油泵

HMDS烘箱專用真空泵,HMDS系統無油泵較小的噪音 - 一臺干泵卻擁有較好的真空度,較大的抽速 - 停機時間短,維護成本更低

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光伏電池片HMDS處理系統,HMDS預處理烘箱
光伏電池片HMDS處理系統,HMDS預處理烘箱

光伏電池片HMDS處理系統,HMDS預處理烘箱就是涂膠前要進行增粘處理。由于襯底表面吸水特性,使疏水的光刻膠無法與親水的晶圓表面結合良好。未經過HMDS表面處理的晶圓在后道工藝中容易造成漂條、浮膠等,導致光刻圖形轉移的失敗,同時濕法腐蝕容易發生側向腐蝕。

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HMDS烘箱真空泵,HMDS烘箱無油泵 工業烘箱
HMDS烘箱真空泵,HMDS烘箱無油泵 工業烘箱

HMDS烘箱真空泵,HMDS烘箱無油泵真空干泵具有(50dBA)和低振動運行的, 密封設計(真空區與電機和軸承全隔開) 可提供潔凈的泵內氣體環路;從而消除了油或油脂帶來的污染風險。

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