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百級無塵烤箱 熱風(fēng)循環(huán)烘箱

百級無塵烤箱 熱風(fēng)循環(huán)烘箱

簡要描述:

百級無塵烤箱用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門;也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

百級無塵烤箱

無塵烤箱也稱無塵工業(yè)烤箱、潔凈工業(yè)烤箱,是一種提供高溫凈化環(huán)境的特殊潔凈無塵烘干設(shè)備。箱內(nèi)空氣封閉自循環(huán),經(jīng)耐高溫高效空氣過濾器(100級)反復(fù)過濾,使烘箱工作室內(nèi)處于無塵狀態(tài)。無塵烤箱工作室為不銹鋼結(jié)構(gòu)。工作室內(nèi)溫度由溫控儀自動控制,并有自動恒溫及時間控制裝置,并附設(shè)有超溫自動停電及報警電路,控制可靠,使用安全。用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門;也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

百級無塵烤箱

1.在普通環(huán)境下使用,能夠確保烘箱內(nèi)部等級達到Class 100;
2.全周氬焊,耐高溫硅膠破緊,SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器,防機臺本身所產(chǎn)生微塵;
3.采平面水平由后向前送風(fēng)熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng),風(fēng)源由循環(huán)馬達運轉(zhuǎn)帶動風(fēng)輪經(jīng)電熱器,將熱風(fēng)由風(fēng)道送至烤箱內(nèi)部,且將使用后空氣吸入風(fēng)道成為風(fēng)源再度循環(huán)加熱,省電節(jié)能溫度均勻性好,過濾效率99.99%,Class 100;
4.強制送風(fēng)循環(huán)方式。雙風(fēng)道循環(huán)結(jié)構(gòu),溫度場分布均勻,智能P.I.D溫控系統(tǒng),得到溫度控制精度。

無塵等級:Class 100;     

溫度范圍:RT+10~200℃;
溫度均勻度:±2℃;    

溫度波動度:±0.5℃(空載)        
溫控精度:±0.1℃;        

工作室尺寸:W500×D600×H500(mm)         

電源:380v , 50Hz,5KW    

網(wǎng)板:2塊(高度可調(diào)節(jié))

潔凈度100級的潔凈熱處理HEPA過濾器與前出風(fēng)水平層對流循環(huán)方式實現(xiàn)并保證箱內(nèi)的溫度分布的均勻性與100級潔凈度。zui小限度控制風(fēng)速距離。
M計裝可編程控制1模式20步驟,zui多可做10個模式。溫度上升·下降斜率設(shè)定程序的重復(fù)次數(shù)在1-999次間設(shè)定。
簡單操作的標(biāo)準(zhǔn)計裝
標(biāo)準(zhǔn)配置定值運行模式以及自動啟動·自動停止等可設(shè)定動作的程序運行。標(biāo)準(zhǔn)配置溫度過升防止器。 

每日維護保養(yǎng)

1. 打掃表面及內(nèi)腔灰塵,保持機器干凈、衛(wèi)生。

2. 檢查電流表電流跟正常時是否一樣,如有異樣,通知維修工檢修。

3. 突然停電,要把加熱開關(guān)關(guān)閉,防止來電時自動啟動。

4. 檢查風(fēng)機運轉(zhuǎn)是否正常,有無異常聲音,如有立即關(guān)閉機器并通知維修工檢修。

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